大きさが200×300×50μm(=0.2×0.3×0.05mm)の自律型ロボットの記事があります。駆動部は有しておらず、外部のLEDの光で駆動し、電場を変化させて方向を変えることができるようです。物体は小さくなると粘性の影響を受け動き難くなります。そのため静電力や磁場を駆動力にする必要があります。以前、マイクロよりさらに千分の１小さいナノロボットについて「遊びから新技術が芽生える」で取り上げましたが、移動距離が非常に小さいため、今回のロボットの方が実用性がありそうです。
記事→ https://wired.jp/article/microscopic-autonomous-robots-breakthrough/
動画→ https://www.instagram.com/p/DSVFUzWGIRp/?utm_source=ig_embed&utm_campaign=embed_video_watch_again