25年～30年ぐらい前に、シリコンウェハにカラム、検知部を設けたマイクロガスクロマトグラフのアイデアがネイチャーあるいはサイエンスの雑誌に掲載されていてショックを受けました。この写真のような写真が掲載されていたのです。ガスクロマトグラフの装置は数十cmの大きさの箱ですので、あまりに大きな縮小率に驚いた次第です。その後、何十年も経っていて、改めて調べてみると、基礎的研究が散見されます。
例えば→ https://cdn.intechopen.com/pdfs/60575.pdf
実用化されているかを検索したところ、いろいろ見つかりました。例えばこれです → https://www.vernier.com/products/sensors/gc-mini/
装置の大きさが10.8 cm x 13.3 cm x 19.1 cmとコンパクトで、搭載されているカラムは微細加工で作製したもののようです。 この装置以外にもこんなものもありました。 → https://www.qmicro.com/product/dynamiq-s/
カラムを小さくしても、周辺の装置が量高になるので、まだまだマイクロマシンというレベルには至っていませんが、数十年前に比較すれば大きな進歩には違いがありません。 これからも益々軽薄短小化していくのでしょうね。